ESD的含義及表現(xiàn)形式
ESD的含義: ESD是代表英文ElectroStatic Discharge即"靜電放電"的意思。ESD是本世紀(jì)中期以來形成的以研究靜電的產(chǎn)生與衰減、靜電放電模型、靜電放電效應(yīng)如電流熱(火花)效應(yīng)(如靜電引起的著火與爆炸)及和電磁效應(yīng)(如電磁干擾)等的學(xué)科。近年來隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展、微電子技術(shù)的廣泛應(yīng)用及電磁環(huán)境越來越復(fù)雜,對靜電放電的電磁場效應(yīng)如電磁干擾(EMI)及電磁兼容性(EMC)問題越來越重視。
三種型式: 1.人體型式即指當(dāng)人體活動時身體和衣服之間的摩擦產(chǎn)生摩擦電荷。當(dāng)人們手持ESD敏感的裝置而不先拽放電荷到地,摩擦電荷將會移向ESD敏感的裝置而造成損壞。 2.微電子器件帶電型式既指這些ESD敏感的裝置,尤其對朔料件,當(dāng)在自動化生產(chǎn)過程中,會產(chǎn)生摩擦電荷,而這些摩擦電荷通過低電阻的線路非常迅速地瀉放到高度導(dǎo)電的牢固接地表面,因此造成損壞;或者通過感應(yīng)使ESD敏感的裝置的金屬部分帶電而造成損壞。 3.場感類型式即有強(qiáng)電場圍繞,這可能來之于塑性材料或人的衣服,會發(fā)生電子轉(zhuǎn)化跨過氧化層。若電位差超過氧化層的介電常數(shù),側(cè)會產(chǎn)生電弧以破壞氧化層,其結(jié)果為短路。 4.其它還有:機(jī)器模式、場增強(qiáng)模型、人體金屬模型、電容耦合模型、懸浮器件模型。
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